中文版
English
| 1 | 高帧率1200万面阵相机 |
| 2 | 多光源组合，明暗场检测 |
| 3 | EFEM上料模组 |
| 4 | 精密高速移动平台 |
| 5 | 检测晶圆划伤，凹坑，凸起，脏污，崩边等 |
标刻案列：
1）凸起
2）划伤
3）脏污
4）凹坑
5）异物
设备型号 | WN800 | |||
检测系统 | 高速高帧率面阵相机；精密平台；同轴，低角度，多种光源组合 | |||
检测精度（um） | 2 | |||
产品定位精度（um） | 2 | |||
兼容产品尺寸 | 6寸，8寸，可定制12寸 | |||
上料方式 | 全自动上料，支持2个FOUP，可定制4个FOUP | |||
台面称重（kg） | 10 | |||
电源及气压 | AC 220V,5KW/0.5~0.8MPa | |||
| 外形尺寸 | 2000*2000*1900 | |||
设备重量 | 1500 | |||
| 软件（自主开发） | CVLD Pro V1.0 | |||